题名:	光刻 guang ke / 上海无线电十七厂编 ,
ISBN:	价格：￥0.16
语种:	chi
载体形态:	72页 19cm
出版发行:	出版地：上海出版社：人民出版社出版日期： 1971
主题词:	半导体技术
中图分类法:	TN3 版次： 4
主要团体责任者:	上海无线电十七厂 shang hai wu xian dian shi qi chang 编