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题名:
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脉冲激光沉积类金刚石膜技术 mai chong ji guang chen ji lei jin gang shi mo ji shu / 程勇编著 , |
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ISBN:
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978-7-03-051551-3 价格： CNY168.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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10,422页 图 25cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2017.05 |
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内容提要:
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全书共7章内容。从介绍类金刚石膜性质、组成、制备及应用入手，阐述了脉冲激光沉积技术及其在制备类金刚石膜方面的机理和优、缺点，以及类金刚石膜的测试与表征；详细讨论了激光参数、基底状态、靶材种类以及环境气氛等因素对类金刚石膜性能的影响，偏重于阐述掺杂、退火、膜层结构及双激光技术等类金刚石膜降低内应力、提高膜层性能的改性技术；针对类金刚石膜的工程应用中存在的大面积不均匀、制备效率低的现实问题，展现了多功能激光沉积系统，阐述了脉冲激光沉积大尺寸均匀平面和球面类金刚石膜的装置、模型及实验；最后介绍了脉冲激光沉积技术在制备其他功能薄膜方面的应用，展望了该技术未来发展趋势和前景。 |
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主题词:
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脉冲(力学) 激光淀积 |
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中图分类法:
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TB43 版次： 5 |
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主要责任者:
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程勇 cheng yong 编著 |