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题名:
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微机电器件设计、制造及计算机辅助设计 wei ji dian qi jian she ji 、 zhi zao ji ji suan ji fu zhu she ji / 郭占社著 , |
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ISBN:
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978-7-5124-2109-7 价格： CNY65.00 |
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语种:
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eng |
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载体形态:
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272页 图 23cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 北京航空航天大学出版社 出版日期： 2016 |
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内容提要:
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本书首先介绍了MEMS的相关基本理论,微机电系统的重要材料和制造工艺。在这些理论的基础上,对设计规则和重要的工程实例都进行了详细描述。然后,结合MEMS(包括加速度测量)的许多工程应用介绍了角速度测量和压力测量。最后,介绍了利用有限元方法来证明设计的正确性。本工程应用仿真包括静态与模态分析、电容分析、热结构分析、疲劳分析等。 |
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主题词:
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微电子技术 研究生 |
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中图分类法:
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TN4-43 版次： 5 |
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主要责任者:
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郭占社 guo zhan she 著 |