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题名:
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半导体光谱测试方法与技术 ban dao ti guang pu ce shi fang fa yu ji shu / 张永刚,顾溢,马英杰著 , |
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ISBN:
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978-7-03-047222-9 价格： CNY128.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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331页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2016 |
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内容提要:
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本书在回顾光谱学和光谱仪器的发展过程后，对半导体中涉及的主要光学过程以及半导体材料、器件及应用研究中需要哪些光谱分析手段和方法作了简要介绍，然后以分光（色散）和傅里叶变换两种方法为基础讨论了光谱分析的基本原理、测试仪器、关键部件、系统构成以及限制因素等，并结合一系列测量实例对吸收谱类、光电谱类和发射谱类测量方法与技术及相关细节进行了说明。 |
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主题词:
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半导体 光谱分析 |
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中图分类法:
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O472 版次： 5 |
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主要责任者:
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张永刚 zhang yong gang 著 |
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主要责任者:
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顾溢 gu yi 著 |
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主要责任者:
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马英杰 ma ying jie 著 |