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题名:
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MOS集成电路工艺与制造技术 [ 专著] MOS ji cheng dian lu gong yi yu zhi zao ji shu / 潘桂忠编著 , |
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ISBN:
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978-7-5478-0980-8 价格： CNY85.00（赠） |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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489页 26cm |
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出版发行:
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出版地： 上海 出版社： 上海科学技术出版社 出版日期： 2012 |
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内容提要:
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本书介绍了硅集成电路制造技术中的基础工艺，内容包括硅衬底与清洗、氧化、扩散、离子注人、外延、化学气相淀积、光刻与腐蚀/刻蚀、金属化与多层布线、表面钝化以及工艺集成制造技术等。 |
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主题词:
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MOS集成电路 |
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中图分类法:
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TN432 版次： 5 |
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主要责任者:
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潘桂忠 pan gui zhong 编著 |