题名:
|
MOS集成电路工艺与制造技术 [ 专著] MOS ji cheng dian lu gong yi yu zhi zao ji shu / 潘桂忠编著 , |
ISBN:
|
978-7-5478-0980-8 价格: CNY85.00(赠) |
语种:
|
chi |
载体形态:
|
489页 26cm |
出版发行:
|
出版地: 上海 出版社: 上海科学技术出版社 出版日期: 2012 |
内容提要:
|
本书介绍了硅集成电路制造技术中的基础工艺,内容包括硅衬底与清洗、氧化、扩散、离子注人、外延、化学气相淀积、光刻与腐蚀/刻蚀、金属化与多层布线、表面钝化以及工艺集成制造技术等。 |
主题词:
|
MOS集成电路 |
中图分类法:
|
TN432 版次: 5 |
主要责任者:
|
潘桂忠 pan gui zhong 编著 |